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介绍国家重大科研装备研制项目"大型高精度衍射光栅刻划系统"的研制历程及主要性能参数，介绍面积达400mm × 500mm的世界上面积最大的中阶梯光栅的制造过程及核心指标。探讨衍射效率、波前误差、鬼像等测试方法。展望未来应用前景。
中国光栅梦大型高精度衍射光栅的研制
【摘 要】
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介绍国家重大科研装备研制项目"大型高精度衍射光栅刻划系统"的研制历程及主要性能参数，介绍面积达400mm × 500mm的世界上面积最大的中阶梯光栅的制造过程及核心指标。探
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033
【出 处】
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第十七届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
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2018年8期
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