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本文总结了涡旋无油真空泵技术的发展与现状,其内容包括从涡旋技术的发展到涡旋技术在各行业的应用;从涡旋无油真空泵的原理到涡旋无油真空泵的制造技术及技术指标;从世界各国涡旋真空泵的发展到我国涡旋真空泵的发展现状,对涡旋无油真空泵的状况有一个系统的介绍.
涡旋无油真空泵技术的发展与现状
【摘 要】
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本文总结了涡旋无油真空泵技术的发展与现状,其内容包括从涡旋技术的发展到涡旋技术在各行业的应用;从涡旋无油真空泵的原理到涡旋无油真空泵的制造技术及技术指标;从世界各
【机 构】
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中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
【出 处】
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2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
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2004年7期
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