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本文介绍了膜厚测量装置KMC和线幅测量装置KAR在TFT制作过程中的online应用.主要介绍了KMC使用反射折射光谱原理对3层内的多层膜厚测量和含mark图形的流品膜厚测量;以及KAR使用CCD传感检测对光刻图形线宽、重合精度的测定和周边曝光状况的监控.
TFT薄膜厚度与光刻图形长寸法的测量
【摘 要】
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本文介绍了膜厚测量装置KMC和线幅测量装置KAR在TFT制作过程中的online应用.主要介绍了KMC使用反射折射光谱原理对3层内的多层膜厚测量和含mark图形的流品膜厚测量;以及KAR使
【机 构】
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中电熊猫液晶显示科技有限公司,南京,江苏
【出 处】
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2014中国平板显示学术会议
【发表日期】
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2014年期
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