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介绍利用自行设计的检测图形，检测可变矩形束曝光机成形光阑形态，描述了成形光阑的调整方法，而成形光阑形态、位置的正确与否直接关系到器件和电路芯的制作质量。通过大量实验检测证实，应用此检测图形检测快捷、使用方便、检测精度高。
可变矩形电子束曝光机光阑形态的调整
【摘 要】
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介绍利用自行设计的检测图形，检测可变矩形束曝光机成形光阑形态，描述了成形光阑的调整方法，而成形光阑形态、位置的正确与否直接关系到器件和电路芯的制作质量。通过大量实验检
【机 构】
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院微电子中心(北京)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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