【摘 要】
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研制成功了采用光伏InSb二极管列阵工艺、直接注入Si-CMOS读出电路、微型玻璃杜瓦和微型节流致冷机的64×64元InSb红外焦平面组件.焦平面组件平均探测率～1×10cmHzW,平均量子
【出 处】
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第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会
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研制成功了采用光伏InSb二极管列阵工艺、直接注入Si-CMOS读出电路、微型玻璃杜瓦和微型节流致冷机的64×64元InSb红外焦平面组件.焦平面组件平均探测率～1×10<11>cmHz<1/2>W<-1>,平均量子效率～72℅,响应率非均匀性～18℅,无效像元率～0.5℅.其性能参数满足红外成像制导的技术要求,已成功进行了凝视成像红外导引头外场探测试验.
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