【摘 要】
：
低温等离子技术在集成电路的生产和电推进中发挥着不可替代的作用.此外,低温等离子体流动耦合了传热,电化学反应,电磁效应等多物理过程.研究低温等离子体流动、放电特性,不仅
【机 构】
：
中国科学院力学研究所高温气体动力学国家重点实验室,北京海淀区100190中微半导体设备(上海)有限公司,上海浦东区201201
【出 处】
：
高温气体动力学国家重点实验室2013年度夏季学术研讨会
论文部分内容阅读
低温等离子技术在集成电路的生产和电推进中发挥着不可替代的作用.此外,低温等离子体流动耦合了传热,电化学反应,电磁效应等多物理过程.研究低温等离子体流动、放电特性,不仅具有广阔的工业应用前景,同时具有较高的科研价值.
本文主要分为两个部分,首先从Boltzmann方程出发,推导出非平衡低温等离子体流动的守恒方程,从物理上揭示低温等离子体流动过程中的影响因素.这些方程包括电子和重粒子的能量守恒方程、每种化学组分的输运方程以及与N-S方程耦合的Maxwell方程组.其次,本文基于SIMPLEC算法,利用推导的模型方程模拟了氩气(Ar)在一个大气压下的三维自由弧燃烧.研究表明,与热力学平衡的计算结果相比,电子和重粒子在中心弧柱区接近热力学平衡态,但而随着位置越来越靠近电极,热非平衡效应逐渐显著.这一结论同发射光谱的实验结果吻合较好.
其他文献
对东准噶尔地区塔黑尔构造窗的变质火山岩及其中的侵入岩开展了系统研究。结果显示：1）塔黑尔构造窗的变质火山岩为具有陆源弧特征的奥陶系中酸性火山岩：2）自455Ma起该火山岩发生
富钾基性火成岩是在造山带和克拉通内部都很常见的一类岩石,是揭示地幔结构和化学不均一性的重要载体.虽然富钾基性火成岩具有如此重要的意义,但是其岩石成因却没有得到有效
The most common way followed for the determination of degradation mechanisms of organic materials is the application of physicochemical methods after accele
本研究对洛宁地区含榴斜长角闪片麻岩和含榴黑云斜长片麻岩中的锆石进行了SIMSU-Pb定年。结果表明：(1)含榴斜长角闪片麻岩的原岩成岩年龄～2.3IGa;锆石变质增生边的时代为1.987～1
Instead of the traditional method of silk restoration based on the application of synthetic polymers,transglutaminase mediated polymerization was used as a
There has been growing interest in tools that utilize hyperthermal ion/solidinteractions for the characterization of molecular solids by mass spectrometry.These
In this study a method has been developed to classify archaeologically related soil samples by means of multivariate statistical analysis(principal componen
监控单元在现代航空航天飞行器中有重要作用,通常置于相对封闭的薄壁容器内.为提高监控单元可靠性,必须准确描述其环境条件,包括其热、声学和振动状态,尤其注意的是这三者之
The main idea of the European STONECORE R&D project(2008 to 2011)was to develop and evaluate nano materials for the use in refurbishment and conservation of
Nanhai Ⅰ is a merchant shipwreck which sank in the South China Sea 800 years ago while transporting different kinds of precious of porcelains and metalwork