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本文开发出了具有4轴3联动的微细电火花加工装置。针对该装置,对三维微结构的电火加工技术进行了研究。通过对微细电火花铣削加工过程的放电状态规律进行研究,提出了以放电状态开路率的统计规律来对电极损耗状况进行预测的方法,并在此基础上提出了三维微结构电火花加工过程中电极损耗的自动补偿策略。与此同时,结合电极自动补偿策略与电极等损耗理论,提出采用通用的机械铣削CAD/CAM软件进行微细电火花铣削加工CAD/CAM 设计的方法,在UG软件平台上进行了实践。