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采用磁控溅射法分别在ＴｉＡｌ基合金表面溅射沉积了几种不同成分、不同结构的涂层，并对ＴｉＡｌ合金极其涂层的抗高温氧化行为和抗热震性进行了研究。ＭＣｒＡｌＹ涂层提高了样品的抗高温氧化性能，但涂层与基体之间存在有严重的扩散；采用具有中间阻扩散层的ＭＣｒＡｌＹ涂层较好地克服了互扩散问题，且具有良好的抗高温氧化性能及抗热震性。