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会议论文
应用"灵活法"保证检漏精度
应用"灵活法"保证检漏精度
来源 :中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wsw62084751
【摘 要】
:
本文对电子元器件氦质谱背压检漏的"固定法"和"灵活法"分析对比后,运用公式计算并制成"灵活方法不同加压条件的拒收测量漏率表",简化了灵活方法,保证了检漏精度,提高了检漏工
【作 者】
:
刘秀林
【机 构】
:
上海航天局808所
【出 处】
:
中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会
【发表日期】
:
2002年期
【关键词】
:
应用
灵活法
氦质谱背压检漏
电子元器件
加压条件
公式计算
工作效率
方法
固定法
运用
漏率
拒收
精度
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本文对电子元器件氦质谱背压检漏的"固定法"和"灵活法"分析对比后,运用公式计算并制成"灵活方法不同加压条件的拒收测量漏率表",简化了灵活方法,保证了检漏精度,提高了检漏工作效率.
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