应用"灵活法"保证检漏精度

来源 :中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wsw62084751
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本文对电子元器件氦质谱背压检漏的"固定法"和"灵活法"分析对比后,运用公式计算并制成"灵活方法不同加压条件的拒收测量漏率表",简化了灵活方法,保证了检漏精度,提高了检漏工作效率.
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