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该文综合分析比较了各种微传感器悬隔膜材料制造工艺技术的优缺点，从中选择工艺简单易行、质量稳定可靠以及与微电子技术相容的微传感器悬隔膜材料和制造工艺技术，以便提高微传感器成品率。
微传感器技术中的悬隔膜
【摘 要】
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该文综合分析比较了各种微传感器悬隔膜材料制造工艺技术的优缺点，从中选择工艺简单易行、质量稳定可靠以及与微电子技术相容的微传感器悬隔膜材料和制造工艺技术，以便提高微传
【机 构】
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科学院上海冶金研究所
【出 处】
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第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1995年期
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