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在实践中传统的正向常规检漏,在工业密封检漏中遇到了挑战,而氦质谱检漏在我国工业密封检漏中充分显示出其重要性和不可替代性,有广阔的发展前景.
工业应用是氦质谱检漏仪的发展方向
【摘 要】
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在实践中传统的正向常规检漏,在工业密封检漏中遇到了挑战,而氦质谱检漏在我国工业密封检漏中充分显示出其重要性和不可替代性,有广阔的发展前景.
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议
【发表日期】
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2002年6期
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