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双筒牵引复合型分子泵的研制

来源 :中国真空学会2009年真空工程学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhp5211018

【摘 要】

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本文介绍了成都南光机器有限公司新研制的双筒牵引复合型分子泵,对分子泵的研制意义、目的、结构形式、技术要点和不足之处做了介绍。这种新型分子泵的研制提高了国内分子泵

【作 者】

：

常学森 靳毅 罗宁 

【机 构】

：

成都南光机器有限公司,成都610100

【出 处】

：

中国真空学会2009年真空工程学术交流会

【发表日期】

：

2009年7期

【关键词】

：

双筒牵引 复合型分子泵 制造技术 

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本文介绍了成都南光机器有限公司新研制的双筒牵引复合型分子泵,对分子泵的研制意义、目的、结构形式、技术要点和不足之处做了介绍。这种新型分子泵的研制提高了国内分子泵制造的技术,为分子泵技术的更新换代开辟了一个新的道路。

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