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本文介绍了成都南光机器有限公司新研制的双筒牵引复合型分子泵,对分子泵的研制意义、目的、结构形式、技术要点和不足之处做了介绍。这种新型分子泵的研制提高了国内分子泵制造的技术,为分子泵技术的更新换代开辟了一个新的道路。
双筒牵引复合型分子泵的研制
【摘 要】
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本文介绍了成都南光机器有限公司新研制的双筒牵引复合型分子泵,对分子泵的研制意义、目的、结构形式、技术要点和不足之处做了介绍。这种新型分子泵的研制提高了国内分子泵
【机 构】
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成都南光机器有限公司,成都610100
【出 处】
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中国真空学会2009年真空工程学术交流会
【发表日期】
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2009年7期
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