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随着纳米技术的发展,扫描电镜低加速电压下的成像技术日益引起人们的重视。介绍了扫描电镜低加速电压下高分辨率成像技术的原理及方法,在纳米材料和薄膜材料研究中的应用。
扫描电镜低加速电压成像技术
【摘 要】
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随着纳米技术的发展,扫描电镜低加速电压下的成像技术日益引起人们的重视。介绍了扫描电镜低加速电压下高分辨率成像技术的原理及方法,在纳米材料和薄膜材料研究中的应用。
【机 构】
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原中国科学院上海微系统所;
【发表日期】
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2008年期
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