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环抛过程中,温度是加工不确定性的一个重要来源.本文首先在2.4m 环抛机上同步抛光了不同材质的三块玻璃,它们分别是：Nd：glass,K9 以及ULE.实验结果表面,温差加剧了加工不确定性,并且不同材质工件受温差影响不同.同时,用有限元仿真软件分析了温差导致的工件形变.
环抛过程中工件温度分布对面形控制的影响
【摘 要】
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环抛过程中,温度是加工不确定性的一个重要来源.本文首先在2.4m 环抛机上同步抛光了不同材质的三块玻璃,它们分别是：Nd：glass,K9 以及ULE.实验结果表面,温差加剧了加工不确定性,并且不同材质工件受温差影响不同.同时,用有限元仿真软件分析了温差导致的工件形变.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海市嘉定区清河路390号,201800;中国科学院大学,北京市石景山区玉泉路19号,100049
【出 处】
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全国激光科学技术青年学术交流会
【发表日期】
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2015年3期
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