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随着太赫兹技术(THz)的发展,真空电子器件的研究越来越小型化,作为核心部件的折叠波导由于具有独特的优点,在高频结构中必将得到广泛的应用。然而其尺寸精度采用传统加工方法已无法实现,成为制约该领域发展的瓶颈。开展了基于SU8厚胶采用嵌丝式UV-LIGA工艺制备折叠波导(FWG)互作用结构的工艺实验,主要包括无氧铜基体的制备、SU8厚胶的匀胶、烘胶、光刻、后烘、显影等工艺的参数的摸索。