【摘 要】
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随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、分辨率高、精度高以及操作方便等优点,在精密计量、机械加工控制、电子精密机械设备的精确定位等领域得到了广泛的应用。干涉测
【基金项目】
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西安市科技计划项目(CXY08009)
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随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、分辨率高、精度高以及操作方便等优点,在精密计量、机械加工控制、电子精密机械设备的精确定位等领域得到了广泛的应用。干涉测量技术的基础和关键是干涉图的处理。通过对干涉图处理技术的研究,提出了一种有效的干涉图处理方法,并将此方法应用于薄膜厚度测量方面。本方法利用三种不同的算法,分别对干涉图进行了边缘提取、区域延拓和波面统一,最终恢复出被测物体的表面形貌特征,为后续进行薄膜厚度测量分析奠定了坚实的基础。文章对一个实际SiO2薄膜样片进行了干涉图的处理,结果表明,通过本算法得到的干涉图处理结果,与Zygo干涉仪的分析测试结果基本一致。
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