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该文从工厂生产的角度阐述了磁控溅射玻璃镀膜设备的工作原理，主要结构及性能指标。并对镀膜过程中应注意的若干工艺问题，热反射镀膜玻璃的膜系及镀膜玻璃的性能检测等问题进行了初步的探讨。
磁控溅射玻璃镀膜工艺及膜层性能的研究
【摘 要】
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该文从工厂生产的角度阐述了磁控溅射玻璃镀膜设备的工作原理，主要结构及性能指标。并对镀膜过程中应注意的若干工艺问题，热反射镀膜玻璃的膜系及镀膜玻璃的性能检测等问题进行
【机 构】
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工业部桂林电器科学研究所
【出 处】
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97全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
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1997年期
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