【摘 要】
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文中分别以化学沉淀法、柠檬酸法和均相沉淀法制备了NiO纳米材料,通过XRD方法对所制备材料的晶体结构进行分析表征。并以上述不同方法制备的NiO为基体材料,Cr2O3、WO3为掺杂剂制作了电导型厚膜NO2气体传感器。研究了工作温度、掺杂剂等对器件气敏性能的影响。结果表明:掺杂WO3的NiO基厚膜传感器对NO2有较高的灵敏度、良好的选择性及响应特性,并且对器件的敏感机理做了初步的分析。
【机 构】
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集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春,130012
【出 处】
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第11届全国敏感元件与传感器学术会议
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文中分别以化学沉淀法、柠檬酸法和均相沉淀法制备了NiO纳米材料,通过XRD方法对所制备材料的晶体结构进行分析表征。并以上述不同方法制备的NiO为基体材料,Cr2O3、WO3为掺杂剂制作了电导型厚膜NO2气体传感器。研究了工作温度、掺杂剂等对器件气敏性能的影响。结果表明:掺杂WO3的NiO基厚膜传感器对NO2有较高的灵敏度、良好的选择性及响应特性,并且对器件的敏感机理做了初步的分析。
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