一种基于聚焦等离子束刻蚀的单模-多模-单模光纤锥结构的折射率传感器

来源 :第十三届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ren198525
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本文展示了一种紧凑的单模-多模-单模光纤锥头(SMST)折射率传感器。通过聚焦等离子束刻蚀的方法获得平整的光纤锥头并镀金膜以提高反射率。利用一根直径2.94微米的SMST,实验测得灵敏度为265nm/RIU,可分辨的折射率变化为3.77×10-5。由于该折射率传感器具有小型化、加工方便、线性响应、高灵敏度、易于与其他光纤组件连接以及低成本等优点,可广泛应用于化学和生物传感等领域。
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