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5. 氮氧和氨氧掺質成長的MWCVD鑚石不同的特性及成長機制比較

氮氧和氨氧掺質成長的MWCVD鑚石不同的特性及成長機制比較

来源 :2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：s66_ch

【作 者】

：

楊台發 丁婉俞 林陽浚 陳宏睿 陳怡均 

【机 构】

：

國立中山大學機械舆機電工程系

【出 处】

：

2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会

【发表日期】

：

2015年期

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