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谐振式MEMS(微机械电子系统)传感器具有高精度、快速响应、小尺寸等特点，已广泛应用于化学量、物理量以及生物量的实时测量，且其谐振结构的尺度正朝着微米/纳米量级发展，有利于提高传感器的谐振频率与品质因子。
谐振式微悬臂梁MEMS传感器研究
【摘 要】
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谐振式MEMS(微机械电子系统)传感器具有高精度、快速响应、小尺寸等特点，已广泛应用于化学量、物理量以及生物量的实时测量，且其谐振结构的尺度正朝着微米/纳米量级发展，有利于提高传感器的谐振频率与品质因子。
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,西安710054苏州纳米科技协同创新中心,苏州215123西安交通大学机械工程学院,西安710049
【出 处】
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中国仪器仪表学会第十六届青年学术会议
【发表日期】
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2014年3期
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