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93000集成电路测试系统是我国使用最多的高档次测试系统。介绍了采用内部参考溯源法对93000进行检定的原理和方法。根据该系统的工作原理和特性，其检定过程分为=三部分：溯源检定、基础检定和自动检定。通过外接溯源仪表和检定专用装置，结合系统工作站检定软件的运行，实现对93000集成电路测试系统的检定，保证了系统测试数据的准确性和可靠性，确保其量值能朔源到国家/国防基准。