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5. Measurement of Residual Stress on TiN Thin Films by combining Average X-ray Strain and Nanoindentati

Measurement of Residual Stress on TiN Thin Films by combining Average X-ray Strain and Nanoindentati

来源 :2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：douche

【作 者】

：

黃嘉宏 

【机 构】

：

國立清華大學工程科學學系

【出 处】

：

2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

Techniques and X-ray Thin Films TiN 

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