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随着SEM的广泛应用，我们实现了对超大规模集成电路微观结构的测试。本文针对抗辐射加固工艺的需要,介绍了利用扫描电子显微镜分析问题的方法.
SEM应用技术研究
【摘 要】
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随着SEM的广泛应用，我们实现了对超大规模集成电路微观结构的测试。本文针对抗辐射加固工艺的需要,介绍了利用扫描电子显微镜分析问题的方法.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所,沈阳市皇姑区陵园街20号,110032
【出 处】
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第八届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会
【发表日期】
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2005年期
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