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采用超声电化学阳极氧化法，在0.5mol/L H3PO4和0.14mol/L NaF的电解液中，以20V直流电压氧化钛箔制得TiO2纳米管阵列，纳米管管径约为100nm，壁厚15-20nm，管长约600nm。所制TiO2纳米管阵列电极在空气中经500℃煅烧6h 后，以高压汞灯为光源，测得光电压约为0.9V，平均光电流密度可达5.6mA/cm2。10V和20V直流电压制得的TiO2纳米管阵列具有相近的平带电势，而后者具有相对较大的光电流和电荷载流子密度。