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半导体超辐射发光管是实现半导体外腔激光器、光纤光栅激光器的关键元器件，而实现半导体超辐射发光管的关键技术在于解决半导体激光器腔面超低反射率的增透膜技术问题。该文介绍用于光纤光栅激光器等的1550nm超辐射发光管增透膜技术。
1550nm超辐射发光管增透膜技术
【摘 要】
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半导体超辐射发光管是实现半导体外腔激光器、光纤光栅激光器的关键元器件，而实现半导体超辐射发光管的关键技术在于解决半导体激光器腔面超低反射率的增透膜技术问题。该文介
【机 构】
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中国科学院半导体研究所(北京)
【出 处】
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第七届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
：
2000年期
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