背栅偏置对部分耗尽SOI器件记忆效应的影响

来源 :第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dsf922
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  由于部分耗尽(PD)SOIMOS器件的浮体效应,在PDSOIMOSFET输出特性曲线中明显表现出记忆效应。在器件I-V特性曲线测试中,正向扫描与反向扫描的差值定义为ID-hygteresis·ID-hysteresis成功表征了背栅偏置对PD SOI MOSFET记忆效应的影响.研究结果显示,对于0.13μm的PD SOI MOSFET,器件的记忆效应对背栅偏置敏感,但是ID-hygteresis随背栅偏置并不单调变化。基于背界面与Shockley-Reed-Hall(SRH)复合理论,揭示了PDSOI MOSFET记忆效应受背栅偏置影响的规律。
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