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软脆电子材料InP超精密加工的研究(Ⅱ)——准接触抛光中的抛光液
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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中国机械工程学会生产工程专业学会第六届学术大会
【发表日期】
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1991年期
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