【摘 要】
：
近年来,以硅通孔(TSV,Through-Sil icon-Via)为核心的先进封装技术是三维集成领域的发展趋势和研发热点.与之相关制造技术也得到了快速发展.由于TSV特征尺寸的限制,传统的薄膜制备技术难以满足目前新型功能薄膜的应用需求,相应的薄膜制备技术也取得进一步发展.本文将介绍面向TSV结构的深孔的薄膜沉积技术的发展,以及PVD、MOCVD、ALD等改进技术及特点,阐述薄膜制备技术在TSV高
【机 构】
：
南京电子技术研究所,江苏南京210039
【出 处】
：
第十四届长三角科技论坛暨第十届华东真空学术交流会
论文部分内容阅读
近年来,以硅通孔(TSV,Through-Sil icon-Via)为核心的先进封装技术是三维集成领域的发展趋势和研发热点.与之相关制造技术也得到了快速发展.由于TSV特征尺寸的限制,传统的薄膜制备技术难以满足目前新型功能薄膜的应用需求,相应的薄膜制备技术也取得进一步发展.本文将介绍面向TSV结构的深孔的薄膜沉积技术的发展,以及PVD、MOCVD、ALD等改进技术及特点,阐述薄膜制备技术在TSV高深宽比的金属化的应用.
其他文献
本文提出了一种基于静态液滴阵列(SDA,static droplet array)芯片模板法的微粒合成技术,探讨了SDA液滴生成机理,利用SDA芯片实现微液滴的生成与存储,并通过低温固化合成了基于SDA模版法的异型琼脂糖微粒,该方法具有成本低、易操作、可控性高等优点,验证了SDA芯片模板法制备异形微粒的可行性.此种异形颗粒在生物医学领域有诸多应用,如蛋白质标记检测、活性颜料显示、运载细胞等等,为未
以五水硝酸铋,碘化钾,MIL-125为原料,以乙二醇为溶剂,以柠檬酸为结构诱导剂,通过一步共沉淀法制备了异质结结构光催化剂MIL-125/BiOI,并测试了该催化剂在可见光下对罗丹明B的光催化降解效果.通过XRD、PL、SEM、BET和UV-Vis等表征手段研究其结构、形貌、光谱与催化性能间的关系,并从能带结构上分析了其催化机理.结果表明,通过调节Ti:Bi的比例,MIL-125/BiOI在可见光
本文制备了柔性BZT-BCT/P(VDF-TrFE)压电薄膜.对不同掺杂比例所具有的压电性能进行了比较.为了制备小尺寸的BZT-BCT纳米颗粒,本文先采用静电纺丝的方法制备BZT-BCT纳米线,进而通过研磨得到BZT-BCT纳米颗粒.测试结果显示掺杂比例为30wt％时,压电薄膜具有最优的输出性能,开路电压可达8.11V,是纯的PVDF的1.9倍.在固定频率(10Hz)下,掺杂比例为30wt的压电薄
本文采用电子束蒸发法在钠钙玻璃衬底上制备铜铟镓硒薄膜,研究了衬底温度对铜铟镓硒薄膜的结构与光电性能的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,铜铟镓硒薄膜中出现MoSe2相和Cu2_xSe相,当衬底温度为300℃时,制备的铜铟镓硒薄膜获得最好的结晶质量,制作的铜铟镓硒太阳电池获得7.1％的最高转换效率.通过建立禁带宽度与开路电压的关系模型,解释了不同衬底温度下制备的铜铟镓硒太阳电池的开路电压的差异.
基于反型聚合物稳定液晶膜片,结合多层式体三维的显示方法,实现具有增强现实功能的显示,并有可能应用于头戴式显示中.相比于传统的双目视差式的头戴式显示,本方法能够提供正确的深度信息,解决了传统头戴显示中的聚焦-辐辏冲突的问题,有效的解决了视觉疲劳问题.
移动电子器件的快速发展和普及迫切要求提高锂离子电池的储能性能.本文报道了一种通过构建三维分级结构LiNixCoyO2正极材料来提升商业LiCoO2性能的有效策略.这种材料在介观尺度上具有球形多孔形貌,在纳米尺度上由相连的纳米颗粒构成,使其有利于锂离子在材料层间的进出和固态扩散,便于电解液渗透.这些特点协同促进了分级结构LiNixCoyO2正极材料的储能性能,表现出高比容量、优越的循环稳定性和倍率性
近年来,由于喷墨印刷、3D纳米印刷、印刷电子、药物研究、传感器等应用的兴起,对于胶体液滴蒸发的研究具有了极大价值.液滴得蒸发具有着复杂的机理,而在这个蒸发过程中最重要的便是会使颗粒不均匀沉积形成的咖啡环效应,如何抑制和控制这个效应是此领域的一个中心主题.同时,随着柔性电子技术的发展,特别是纸和纺织品电子产品的发展,推动了多孔基板上液滴蒸发沉积形貌的研究.对于多孔基板,溶剂渗透到基板孔中这一过程会使
本文采用热丝化学气相沉积的方法,以乙炔和氢气作为气态源,在石英衬底的表面制备非晶碳膜,研究了不同衬底温度(450～850℃)和冷却方式对于非晶碳膜结构与光电性能的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,非晶碳膜的结构逐渐由非晶态向纳米石墨态再向石墨态发生转变,且该转变有助于非晶碳膜光电性能的提升.随后,在衬底温度850℃条件下制备了非晶碳膜,研究了氢气、氩气及炉冷三种冷却方式对非晶碳膜结构及光电性能的
大多数自动紧急刹车系统(AEB)依靠距离传感器来判断潜在的碰撞危险,因此车辆间距离的准确判断是技术实现的基础.本文采用脉冲激光测距雷达作为距离传感器,依据汽车运动学理论对安全距离模型进行了研究.并针对前车不同的运动状况,推导了相对应的运动模型,并结合控制策略,构建了一种新的车辆纵向防撞模型.在此基础进行车辆刹车实验,得到速度与刹车距离的关系,进一步验证了本模型的可靠性.
伪装技术作为现代战争中一种重要的作战方式,在战场上起着至关重要的作用,对伪装目标的探测直接影响到战争的结果,利用散射退偏振特性检测伪装涂层的研究未见报道,因此对伪装涂层散射退偏振特性的研究具有重要意义.为了研究这一问题,本文从电磁波散射的机理出发,研究了其与退偏振特性之间的理论关系,利用琼斯矩阵和穆勒矩阵建立物理模型,结合偏振特性分解穆勒琼斯矩阵,得到被测量样品表面的完全退偏振系数(Wr).实验分