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单晶硅微悬臂梁的疲劳特性测试

来源 :第四届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wyhai

【作 者】

：

叶雄英 张靖海 

【机 构】

：

大学

【出 处】

：

第四届全国敏感元件与传感器学术会议

【发表日期】

：

1995年期

【关键词】

：

单晶 硅微悬臂梁 疲劳 

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