【摘 要】
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金属铀的化学性质十分活泼，极易发生氧化腐蚀。为改善基体的抗腐蚀性能，采用非平衡磁控溅射离子镀技术在金属铀表面制备CrNx 薄膜。采用X 射线衍射和X 射线光电子能谱研究
【机 构】
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中国工程物理研究院,四川绵阳 621900
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金属铀的化学性质十分活泼，极易发生氧化腐蚀。为改善基体的抗腐蚀性能，采用非平衡磁控溅射离子镀技术在金属铀表面制备CrNx 薄膜。采用X 射线衍射和X 射线光电子能谱研究了薄膜表面的物相结构和元素成分分布，采用极化曲线研究了薄膜的抗腐蚀性能。试验结果表明，CrNx 薄膜具有较好的致密性和抗腐蚀性能。当氮分压较小时，生成的薄膜为Cr+CrN+Cr2N 混合相。在金属铀表面制备一层CrNx 薄膜后，其腐蚀电位增大，腐蚀电流密度明显降低，有效改善了贫铀表面的抗腐蚀性能。
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