使用水热法在石英衬底上制备了掺铝氧化锌薄膜,采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜和低温光致发光谱技术对薄膜的微结构和发光性能进行了表征。结果表明：薄膜由直径在200nm以下的氧化锌纳米锥构成,且具有明显的沿c轴择优生长的特征；铝掺杂显著地影响氧化锌室温下的紫外发光强度,当前驱物中的铝锌摩尔浓度比达到1：10时,所得薄膜的紫外发光峰最强；薄膜的可见光发光区较宽,在510～780nm范围内均有较强的发光峰出现,且发光峰的强度大致随掺杂量的增大而增大；薄膜的低温光致发光谱显示,随着薄膜温度由10K升高到297K,薄膜的紫外发光峰呈现随温度先减小后增大的趋势,但510～780nm范围内的可见光发光峰强度则随着温度的增加单调减小,且535和578nm两处的发光峰呈现此涨彼消的变化趋势。详细讨论了这些现象的成因。