【摘 要】
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对极低浓度气体的检测一直是各种分析仪器面临的巨大挑战，在气体分析仪器的前端设置富集器可以使系统的探测能力提升1-3个数量级。本文采用MEMS工艺加工制作的8沟道格栅分流型
【机 构】
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电子薄膜与集成器件国家重点实验室电子科技大学,成都610054
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
对极低浓度气体的检测一直是各种分析仪器面临的巨大挑战，在气体分析仪器的前端设置富集器可以使系统的探测能力提升1-3个数量级。本文采用MEMS工艺加工制作的8沟道格栅分流型通道作为富集器的微型结构,以碳纳米管作为主要吸附材料,通过气喷工艺在该结构表面制膜.硅片的背面使用磁控溅射技术制备Pt薄膜加热丝.本文对浓度在5mg/m3到10mg/m3的二硫化碳、甲硫醚进行了检测.测试结果表明:在富集时间为4分钟的情况下,此种富集器对低浓度的甲硫醚和二硫化碳气体的富集率分别可达到15、25倍左右.
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