Roll-to-roll高阻隔层薄膜的制备

来源 :第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：panfeng123456

【摘要】

：

我们开展新型等离子体源技术的研究,且利用此等离子体源进行等离子体辅助化学气相沉积氧化硅薄膜,实现roll-to-roll在PET,PE,PVC等有机薄膜表面沉积纳米厚度的阻隔层。在完成幅宽400mm的中试设备的等离子体参数测量、沉积纳米薄膜的工艺参数的选择、氧化硅薄膜的结构、相貌和性能的表征和测量,我们设计和加工幅宽1250mm,速度100 m/min的大型设备,希望在此设备运行中,发现和解决等离

【作者】

：

陈强杨丽珍刘忠伟王正铎桑利军曹海燕郝燕萍

【机构】

：

北京印刷学院等离子体物理及材料研究室,北京大兴,102600

【出处】

：

第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会

【发表日期】

：

2013年1期

【关键词】

：

新型等离子体源纳米氧化硅薄膜 roll-to-roll

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