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氟化物减反射膜放置一段时间,性能会发生变化,本文主要研究其光学性能的时效变化.两批不同膜系的减反射膜SP的中心波长向长波方向不同速率地漂移,反射率低于0.5％的带宽变化不一致.因此可以从膜系设计上来改善减反射膜的时效变化.
氟化物减反射膜在DUV/VUV波段光学性能的时效性研究
【摘 要】
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氟化物减反射膜放置一段时间,性能会发生变化,本文主要研究其光学性能的时效变化.两批不同膜系的减反射膜SP的中心波长向长波方向不同速率地漂移,反射率低于0.5％的带宽变化不一致.因此可以从膜系设计上来改善减反射膜的时效变化.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院强激光材料重点实验室,上海201800;上海大学,材料科学与工程学院,电子信息材料系,上海200444
【出 处】
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上海市激光学会2015年学术年会
【发表日期】
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2015年9期
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