【摘 要】
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本文采用了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法——燃烧化学沉积法.其特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基体上沉积出纳米陶瓷薄膜.本文以制备α-AlO纳米薄膜为例,分析了工艺条件对制备纳米薄膜的影响.
【机 构】
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中国矿业大学北京校区机电工程系(北京) 中国矿业大学北京校区化学与环境工程学院(北京)
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本文采用了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法——燃烧化学沉积法.其特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基体上沉积出纳米陶瓷薄膜.本文以制备α-Al<,2>O<,3>纳米薄膜为例,分析了工艺条件对制备纳米薄膜的影响.
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