【摘 要】
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TeO2是一种宽带隙金属氧化物半导体材料，具有优异的光电、热电以及催化等特性。以四氯化碲与乙醇反应生成前驱体氯代乙醇碲,采用非水解溶胶-凝胶法制备出多孔棉絮状TeO2薄膜,
【机 构】
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东北大学资源与土木工程学院,辽宁沈阳110819
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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TeO2是一种宽带隙金属氧化物半导体材料，具有优异的光电、热电以及催化等特性。以四氯化碲与乙醇反应生成前驱体氯代乙醇碲,采用非水解溶胶-凝胶法制备出多孔棉絮状TeO2薄膜,并利用X射线衍射、扫描电子显微镜对TeO2薄膜进行结构表征.结果表明,具有四方相晶体结构的多孔棉絮状TeO2薄膜由直径为80～350nm、长度为250～900nm的TeO2纳米条状物所组成.气敏特性研究结果表明,TeO2薄膜在125～225℃工作温度范围内对乙醇气体表现出良好的气敏特性,且响应和恢复具有可逆性;在200℃工作温度下获得对乙醇气体的最大灵敏度;TeO2薄膜对乙醇气体的灵敏度随着乙醇气体浓度的增加而呈现上升趋势.
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