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固体表面的润湿性由固体的表面形态和表面能决定。首先采用氧等离子体刻蚀的方法对PET基片表面进行处理，改变其表面形貌；然后在PET基片上沉积疏水性涂层以降低基片的表面能。经检测，通过上述两步处理过后的PET基片表面对水的接触角超过了150°，达到了超疏水的要求，而且基片对光具有很好的透过性。在PET基片的表面处理工艺中，通过改变氧等离子体刻蚀的时间来研究基片表面的疏水性能变化。最后对超疏水PET基片进行了磨损试验，发现磨损后基片表面丧失了超疏水的特性。通过对磨损后PET基片表面形态和表面化学组成的研究发现，失效的原因可能与基片表面形态以及疏水性涂层的破坏有光。