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为了满足材料基因工程中快速、高效实现薄膜材料参数测试需求,本文提出了基于三维数字图像相关方法的薄膜材料参数高通量测试技术。该高通量测试方法通过自行设计的力热耦合加载装置对阵列圆薄膜进行力热耦合加载,利用工业相机记录薄膜试样在不同载荷作用下的散斑图像,再利用数字图像相关方法进行分析计算获得薄膜变形位移场。利用薄膜变形场位移信息进行反演,可以得到薄膜材料的弹性模量、泊松比和热膨胀系数。为了验证该方法的有效性,本文同时测试了10*10圆孔试样在不同机械载荷和热载荷作用下的全场位移,并将反演出的薄膜材料参数和材料手册中的数据进行对比,验证了本文提出的薄膜材料参数高通量测试技术的可行性。