【摘 要】
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液晶空间光调制器作为动态衍射器件，具有分辨率高、像素单元小和可实时编程控制的特点，成为一种理想的波前控制器.对于反射式液晶空间光调制器，反射基板的曲率误差和液晶的边缘场效应会导致波前模拟精度下降，影响其在波前控制领域的应用.本文提出静态误差补偿法和残差反馈控制法，用于液晶空间光调制器波前模拟的研究，探讨提高波前模拟精度的有效方法.实验结果表明，液晶空间光调制器模拟基于Zernike多项式的离焦、象
【机 构】
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哈尔滨理工大学机械动力工程学院,黑龙江哈尔滨150080 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,
【出 处】
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第四届全国信息光学与光子器件学术会议
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液晶空间光调制器作为动态衍射器件，具有分辨率高、像素单元小和可实时编程控制的特点，成为一种理想的波前控制器.对于反射式液晶空间光调制器，反射基板的曲率误差和液晶的边缘场效应会导致波前模拟精度下降，影响其在波前控制领域的应用.本文提出静态误差补偿法和残差反馈控制法，用于液晶空间光调制器波前模拟的研究，探讨提高波前模拟精度的有效方法.实验结果表明，液晶空间光调制器模拟基于Zernike多项式的离焦、象散、彗差、球差等8 项波像差具有较好的性能，残差反馈控制法的波前模拟精度高于静态误差补偿法，模拟误差的RMS值分别为0.170λ 和0.223λ.提高波前模拟精度能够使液晶空间光调制器在自适应光学技术、飞秒激光加工、实时全息显示和光学测量等领域具有更大的应用前景.
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