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该文研究原料特性和添加剂种类对95℅Al<,2>O<,3>陶瓷基片表面粗糙度的影响，实验结果表明，采用平均粒径约1.9μm、粒径分布小的粉体，以Cao-MgO-SiO<,2>为添加剂可在晶界引入液相填充物，能够改善流延基片的表面粗糙度。
影响95Al<,2>O<,3>流延基片表面粗糙度的工艺研究
【摘 要】
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该文研究原料特性和添加剂种类对95℅AlO陶瓷基片表面粗糙度的影响，实验结果表明，采用平均粒径约1.9μm、粒径分布小的粉体，以Cao-MgO-SiO为添加剂可在晶界引入液相填充物，能够改
【机 构】
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大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室(北京)
【出 处】
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第十届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
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1998年期
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