被动质量减振器应用于高科技厂房设备基座微振动之研究

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本研究主要利用结构动力学减振概念,将无阻尼减振器(以下简称为减振器)装设于精密设备基座(以下简称为基座)上,减振器由质量及弹簧组成,利用减振器的动力作用,使其加到基座的动力与激振力相互抵消,使得基座的振动得到抑制。减振器无需外加能量即可运作,故属于被动控制元件。本研究在实验室组装一座与高科技厂房相似的基座,透过现地微振动量测分析及有限元素软体SAP2000模拟,来探讨减振器对基座之动力行为的影响。分析后发现此基座水平向之振动量较垂直向大,所以本研究主要以探讨减振器于水平向之减振效果。研究过程是先使用SAP2000软体进行数值模拟,决定减振效果最佳的参数,然后根据这些参数设计适当的减振器,再将此减振器装设到基座上,分析探讨基座在装设减振器前后的动力行为之差异,最后将结果呈现在1/3倍频的三轴向图上。经SAP2000模拟发现减振器之质量比越大减振效果越好,但在实务考量下以质量比1%之减振器装设于基座后进行微振动量测试验,试验结果显示基座X向在一般环境扰动下,基座面版振动等级由VC-C提高至VC-D,dB值减少28.38%;在受共振频率扰动下,基座面版振动等级由VC-A提高至VC-C,dB值减少57.52%;基座Y向在一般环境扰动及受共振频率扰动下,其振动等级并无法提升,但dB值大约可减少15%左右。
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