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高效单晶硅太阳电池商业化生产,除了BP公司刻槽埋栅太阳电池工艺外,传统丝网印刷工艺也有了很大的提高。除了传统的由TiO2作为成反射膜的工艺外,由等离子体化学气相沉积法(PECVD)制作的SiN是很有效的减反射膜,又是有效的表面钝化膜。尚德太阳能电力有限公司50MW三条太阳电池生产线均能生产高效单晶硅太阳电池,平均转换效率在16.5%左右,最高转换效率大于17%。