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AES研究Cr/SiN/Si体系界面扩散反应的物种

来源 :中国化学会第七届分析化学年会暨原子光谱学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mike1983mm

【作 者】

：

朱永法 王莉 姚文清 曹立礼 

【机 构】

：

清华大学化学系(北京)

【出 处】

：

中国化学会第七届分析化学年会暨原子光谱学术会议

【发表日期】

：

2000年10期

【关键词】

：

界面扩散反应 Cr SiN 俄歇电子能谱 

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