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背接触IBC电池制备中硼扩散工艺的优化及其钝化研究

来源 :第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sibsiufeuhfhkshu

【作 者】

：

姜帅 孙昀 贾锐 陶科 

【机 构】

：

中国科学院微电子研究所

【出 处】

：

第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

【发表日期】

：

2016年期

【关键词】

：

背接触 IBC 电池制备 硼扩散 工艺的优化 

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