【摘 要】
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稀土铕硅酸盐薄膜具有优良的光学性质，可望用于制作发光器件.我们之前的实验发现，通过溶胶-凝胶以及旋涂工艺制备的硅基铕硅酸盐薄膜在氩气气氛下退火之后表现出最优的发光
【机 构】
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北京师范大学分析测试中心,北京100875
【出 处】
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第12届全国发光学学术会议暨发光学相关产业研讨会
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稀土铕硅酸盐薄膜具有优良的光学性质，可望用于制作发光器件.我们之前的实验发现，通过溶胶-凝胶以及旋涂工艺制备的硅基铕硅酸盐薄膜在氩气气氛下退火之后表现出最优的发光特性.然而，后续研究表明，直接在单晶硅片表面生成的硅酸铕薄膜在后续的高温结晶退火过程中发生了严重的互扩散行为，影响了硅酸铕薄膜发光效率的进一步提高.在本文中，我们一方面通过在硅酸铕薄膜中加入Y3+离子来调节Eu3+的比例，实现最优的Eu3+掺杂浓度硅酸铕薄膜.首先选取纯度为99.99％的EuCl36H2O、99.99％的YCl36H2O和优级纯乙酰丙酮，分别按照摩尔比1∶3的比例混合，加入适量的优级纯无水乙醇，直至生成深黄色溶液，从而分别得到[Eu3+]和[Y3+]摩尔浓度为0.5M的乙酰丙酮铕和乙酰丙酮钇的乙醇溶液；同时，利用正硅酸乙酯、无水乙醇、去离子水和稀硝酸混合，在60℃下回流水解4小时，得到摩尔浓度为1.0M的SiO2溶胶.将上述两类溶液混合制得不同Eu3+离子含量的溶胶.在此基础上，利用旋涂工艺在硅衬底上制备不同Eu3+离子含量的硅酸铕发光薄膜.
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