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本文在不同的基低偏压下，采用直流溅射石墨靶的方法制备了非晶碳薄膜。结果显示，随着基底偏压的升高，薄膜中的sp2石墨片状结构含量增加，同时变得更加有序;当基低偏压进一步升高时，薄膜中的sp2相呈下降趋势。摩擦学测试表明，随着基底偏压的增加，薄膜的摩擦系数呈先减小再升高的过程，这个变化趋势和薄膜内的sp2相含量变化趋势是相同的，可以归因为薄膜内部的排列更为有序的sp2石墨片状结构能减少摩擦时的剪切阻力，从而降低摩擦系数。