米级光栅全息曝光拼接系统误差分析

来源 :2012年全国光学工程博士生论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxblovezxh
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  为制作米级光栅,根据全息拼接光栅方案提出了一种拼接光栅误差的分析方法。设计了两种光栅拼接法并对其进行了比较。全息曝光系统像差对光栅拼接精度及远场光斑能量的分布有直接影响,在有像差情况下利用两种拼接法进行了模拟光栅拼接,模拟了光栅远场光斑分布情况,得到了拼接光栅远场衍射光能量利用率和光强峰值。分析了全息光栅拼接系统中的实际拼接误差,得到了拼接光栅总像差。本文对制作大面积拼接光栅提供了理论依据。
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