【摘 要】
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自20 世纪60 年代XPS 诞生以来,人们便一直致力于实现XPS 的原位测试.我们知道,实现一定压力和气氛下进行XPS 检测的关键是要降低气体的弹性散射和非弹性散射导致的光电子衰
【机 构】
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南京大学现代分析中心,江苏省机动车尾气污染控制重点实验室;南京大学化学化工学院,介观化学教育部重点实验室,南京210093
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自20 世纪60 年代XPS 诞生以来,人们便一直致力于实现XPS 的原位测试.我们知道,实现一定压力和气氛下进行XPS 检测的关键是要降低气体的弹性散射和非弹性散射导致的光电子衰减.近年来,国外的研究人员利用同步辐射作为XPS 的光源或用聚焦X 射线照射样品(高亮度),同时在检测端加入静电透镜和多级差分泵系统(增加光电子透过率),从而大大降低了光电子的衰减,使得XPS 的使用压力可以提高到13000 Pa[1].
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