利用不同相位之雙電極Push-Pull PECVD成長二氧化鈦薄膜並應用於降解水及空氣汙染物

来源 :第十四届全国太阳能光化学与光催化学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sky_fly2005
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  本研究以不同電位相位差(180°)之雙電極推拉式電漿激發化學氣相沉積(Push-PullPECVD)法沉積二氧化鈦薄膜(如圖1),利用氬氣(20 sccm)輸送四異丙基鈦酸酯(Ti(OC3H7)4)之蒸氣,以氧氣(20 sccm)當電漿激發氣體產生反應,沉積二氧化鈦觸媒薄膜於不銹鋼及玻璃基板上,主要改變不同電漿電源功率(200~400 W),以提升光觸媒薄膜特性,接著利用高溫退火爐進後續退火處理(氧氣氣氛下退火500度30分鐘),退火完成後利用XRD量測薄膜之結晶性,接著利用UV LED模組進行甲基橙及酚降解實驗。
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